国度常识产权局信息显现，上海新傲芯翼科技有限公司苦求一项名为“键合晶圆相称制备步履”的专利，公开号CN121772615A，苦求日历为2025年12月。
专利摘记显现，本发明提供一种键合晶圆相称制备步履，对器件衬底轮番履行第一等离子体惩处工艺和第二等离子体惩处工艺，第一等离子体惩处工艺和第二等离子体惩处工艺给与的等离子体不同，第一等离子体惩处工艺不错去除器件衬底上的氧化层名义的欺侮物，使氧化层的名义洁净，开云(中国)并不错进步其名义活性，使得氧化层的名义产生无数吊挂键。第二等离子体惩处工艺给与的等离子体与第一等离子体惩处工艺后酿成的具有高活性名义的氧化层发生化学响应，诞生氧化层名义因第一等离子体惩处工艺的离子轰击而酿成的氧空位，进步氧化层名义的密度，环球体育(HQ Sports)使得氧化层具有高强度的亲水键合名义，增多器件衬底与复旧衬底之间的键协力，减少卤莽幸免剥离惩处后的键合晶圆出现坑洞弱势。
天眼查贵府显现，上海新傲芯翼科技有限公司，树立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技试验和哄骗工功课为主的企业。企业注册成本80000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标技俩25次，财产萍踪方面有商标信息9条，专利信息67条，此外企业还领有行政许可5个。
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